亿科 蠕动泵配套水蒸气发生器流量控制精度达到1.5%，较传统的转子流量计精度(+/-5%以上)高出很多，确保混合气体输出浓度波动小，精度高。

亿科 多通道水蒸气发生器通过精密注射泵控制进液量，通过相变汽化模块将液体先分散成液膜再进行换热转化成水蒸气。可以稳定地将一路液体蒸发。相变汽化模块不仅具有蒸发混合稳定的特点，而且具有非常宽的蒸发范围，应该范围较广泛。

亿科 精密水蒸气发生器通过精密注射泵控制进液量，通过相变汽化模块将液体先分散成液膜再进行换热转化成水蒸气。可以稳定地将一路液体蒸发。相变汽化模块不仅具有蒸发混合稳定的特点，而且具有非常宽的蒸发范围，应该范围较广泛。